帶SLI2安全認(rèn)證的在線硅烷氣體檢測(cè)儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

硅烷巨成為半導(dǎo)體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體,用干各種微電子酒膜制備,包括單品膜，微品，多品、氧化鞋、氛化硅，金屬硅化物等，硅烷的微電子應(yīng)用還在向縱深發(fā)展:低溫外延，選擇外延，異質(zhì)外延，不僅用干硅器件和硅集成電路，也用干化合物半導(dǎo)體器件(砷化鎵，碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制備中也有應(yīng)用?？梢哉f(shuō)現(xiàn)代幾乎所有先進(jìn)的集成電路的生產(chǎn)線都需用到硅烷。硅烷的純度對(duì)器件性能和成品率關(guān)系極大，更高級(jí)的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷丙硅烷)。所以在半導(dǎo)體行業(yè)，硅烷的應(yīng)用是非常廣泛的。

但是硅烷會(huì)刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無(wú)定型二氧化硅。眼睛接觸無(wú)定型二氧化硅顆粒會(huì)引起刺激。吸入高濃度的硅烷會(huì)引起頭痛、頭暈并刺激上呼吸道，硅烷會(huì)刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過(guò)度吸入硅烷會(huì)引起肺炎和腎病，這是由于存在結(jié)晶二氧化硅的原因。暴露于高濃度氣體中還會(huì)由于自燃而造成熱灼傷，如果硅烷濃度過(guò)高，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的工作人員有一定的危害性，不利于健康。

深國(guó)安帶SLI2安全認(rèn)證的在線硅烷氣體檢測(cè)儀應(yīng)用于半導(dǎo)體現(xiàn)場(chǎng)硅烷檢測(cè)，24小時(shí)連續(xù)在線監(jiān)測(cè)硅烷及溫濕度的測(cè)量，可同時(shí)擴(kuò)展檢測(cè)1～6種氣體濃度和溫濕度,現(xiàn)場(chǎng)顯示濃度和超標(biāo)聲光報(bào)警，遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸。采用2.5寸高清彩屏實(shí)時(shí)顯示濃度，選用電化學(xué)氣體傳感器、，國(guó)安帶SLI2安全認(rèn)證的在線硅烷氣體檢測(cè)儀先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)、成熟的內(nèi)核算法處理，取得了多項(xiàng)軟件著作磚利和外觀磚利，國(guó)安帶SLI2安全認(rèn)證的在線硅烷氣體檢測(cè)儀可以檢測(cè)管道中或受限空間、大氣環(huán)境中的氣體濃度也可以檢測(cè)氣體泄漏，還可以檢測(cè)高濃度單一氣體的純度。堅(jiān)固耐用的防爆外殼和氟碳漆表面處理工藝適用于各種危險(xiǎn)場(chǎng)所和強(qiáng)酸強(qiáng)堿的腐蝕性環(huán)境，耐磨損，10年內(nèi)不褪色和掉漆。

深國(guó)安帶SLI2安全認(rèn)證的在線硅烷氣體檢測(cè)儀特點(diǎn)

●任何氣體尺寸統(tǒng)一、信號(hào)統(tǒng)一、用法統(tǒng)一；
●擴(kuò)散式、泵吸式兩種采樣方式可選；
●可選配專屬標(biāo)氣罩，由擴(kuò)散式氣室變成泵吸式氣室；
●一體泵吸式氣室可選，方便泵吸式采樣；
● 只需對(duì)接一次，即可對(duì)應(yīng)1000多種可燃、有毒和揮發(fā)性氣體，一勞永逸；