三氟化氮檢測儀是一種用于連續(xù)監(jiān)測工業(yè)環(huán)境中三氟化氮(NF3)氣體濃度的重要安全設備。這種裝置特別適用于半導體制造、平板顯示器生產、光纖和光伏電池制造等高科技行業(yè)，這些領域在生產過程中廣泛使用三氟化氮作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑。
1.選擇安裝位置：
安裝位置應選擇在可能的泄漏源附近，確保快速準確的檢測到三氟化氮泄漏。
設備應安裝在避免直接日光、雨水、以及強電磁干擾的環(huán)境中。
安裝高度應考慮到三氟化氮比空氣重的特性，通常建議在泄漏源附近的較低位置或地面上方1米左右的位置進行安裝。
2.確定安裝方式：
固定式三氟化氮檢測儀支持多種安裝方式，包括管道式、壁掛式等。選擇適合特定環(huán)境的安裝方式。
對于管道式安裝，確保管道與探測器連接緊密無泄漏，工作壓力需保持在大氣壓的±30%范圍內。
3.電氣連接與電源要求：
確保電源供應穩(wěn)定，符合設備的電壓和電流要求。一般工作電壓為12~36V直流電。
連接電纜應選擇符合RS485或4～20mA標準的信號傳輸線材，并注意屏蔽效果，以減少外部干擾。
4.防爆與安全認證：
確認所選設備符合相應的防爆標準，如隔爆型ExdⅡCT6，確保在潛在爆炸性環(huán)境中安全使用。
設備及其所有部件均應通過必要的安全認證，如CE認證、ROHS指令等。
5.功能測試與校驗：
安裝完成后進行功能測試，驗證報警、顯示和其他功能是否正常。
根據制造商的指導手冊進行設備的定期校準和維護，以確保持續(xù)準確的監(jiān)測效果。
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